一般潔凈等級較高之潔凈室，其廠房均設(shè)有次潔凈區(qū)，使得潔凈室中含微粒之氣流經(jīng)由高架地板及潔凈室樓板進(jìn)入到次潔凈區(qū)，再由抽風(fēng)設(shè)備將次潔凈區(qū)之氣流抽至潔凈室天花板之濾網(wǎng)，重新過濾出潔凈且穩(wěn)定之氣流，而產(chǎn)生一個循環(huán)系統(tǒng)，這使得潔凈室樓板須留有足夠之回風(fēng)孔，使?jié)崈羰抑畾饬鹘?jīng)由此回風(fēng)孔送到次潔凈區(qū)。再加上須具有足夠強(qiáng)度以承受制程機(jī)臺之重量，以及抑制微振動影響制程之質(zhì)量，因此衍生出潔凈室樓板之特殊設(shè)計(jì)。目前高科技廠房潔凈室樓板使用的通風(fēng)樓板統(tǒng)稱為華夫板。
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